300 मिमी लाइन पर, धोने की प्रक्रिया के कारण होने वाले तापीय उतार-चढ़ावों के कारण फोटोरेजिस्ट सतह की संरचना खराब हो जाती है; ऐसा अगली बेकिंग प्रक्रिया से पहले ही हो जाता है। हमने ऐसा वॉटरप्रूफ इन्फ्रारेड लैंप विकसित किया है, जिससे ऐसी अस्थिरताओं को दूर किया जा सकता है। यह लैंप, डीआई पानी के उपयोग के दौरान वेफर की सतह को एक निश्चित तापमान पर बनाए रखता है; इससे वेफर के महत्वपूर्ण आयाम सही रहते हैं।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
यह लैंप शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड बैंड में काम करता है; इससे पानी एवं सिलिकॉन में तेज़ गति से ऊष्मा पहुँचती है। क्वार्ट्ज से बना यह लैंप, IP67 मानकों के अनुरूप है – इससे कोई गैस निकलती नहीं है, न ही कोई कण उत्पन्न होते हैं। प्रकाशित क्षेत्र में वेफर की सतह का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है; इससे वेफरों की गुणवत्ता स्थिर रहती है।
नियंत्रण प्रणाली:
लैंप में क्लोज्ड-लूप फीडबैक प्रणाली है; इससे लाइन वोल्टेज में बदलाव होने पर भी आउटपुट स्थिर रहता है।
रिन्स स्टेशन में इसका उपयोग क्यों उपयोगी है?
रिन्स स्टेशनों में तापीय अस्थिरताओं के कारण वेफरों की गुणवत्ता प्रभावित हो जाती है। इस लैंप के उपयोग से रिन्सिंग के दौरान तापमान नियंत्रित रहता है; इससे वेफरों की गुणवत्ता बेहतर रहती है। इससे रीवर्क की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं लिथोग्राफी प्रक्रिया में भी स्थिरता बनी रहती है।
ऊष्मा उत्पन्न करने की प्रक्रिया:
ऊष्मा केवल आवश्यक स्थानों पर ही उत्पन्न होती है; इससे अतिरिक्त ऊर्जा की बर्बादी नहीं होती। इस लैंप की विश्वसनीयता साबित हो चुकी है – यह 5,000+ घंटों तक काम कर सकता है, एवं इसका आउटपुट 5% से भी कम घटता है। इससे अनप्लान्ड डाउनटाइम कम हो जाता है, एवं अतिरिक्त सामग्री की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
आपको पहले ही जानने आवश्यक बातें:
यह लैंप, रिन्सिंग ज़ोन के ऊपर ऊर्ध्वाधर या क्षैतिज रूप से लगाया जा सकता है। इसके लिए विशेष ऊर्जा एवं नियंत्रण इंटरफ़ेस की आवश्यकता होती है। वेफर के रास्ते में कोई बाधा न हो, इसका ध्यान रखें।
तापमान सेट करने हेतु समय:
तापमान सेट करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है – प्रक्रिया शुरू करने से पहले ही इसकी व्यवस्था कर लें, ताकि अनावश्यक समय बर्बाद न हो।