クリーンな環境を維持する：クラス100の加熱システムで直面する本当の課題
クラス100のクリーンルームで作業している人なら、温度管理は比較的簡単だということを知っているでしょう。しかし、本当の問題は粒子です。
ほとんどの標準的なIRランプは、このような環境では障害となります。それらはガスを放出し、シール部分から微小な破片が剥がれ落ちます。半導体や医療機器の世界では、わずかな接着剤やセラミックの破片でも、ウェーハ全体を台無しにしてしまいます。これは非常に厄介で、コストもかかりますが、実際には避けられる問題です。
なぜ石英やセラミックを使用するのか
金属不純物が工程に混入するのを防ぐために、高純度の合成石英を使用します。しかし、真の鍵はエンドキャップにあります。
ほとんどのランプは安価な樹脂や接着剤を使用していますが、これらは高温になるとすぐに蒸発してしまいます。私たちはそうしません。代わりに、高密度の技術用セラミックを使用します。これにより、どんなに高温になってもメカニカルシールが維持されます。煙も出ず、破片も出ず、何の問題もありません。
テレコムプライス（完璧なものはない）
高純度の材料を使うと、ハードウェアの扱い方を変えなければなりません。
合成石英は化学物質に強いですが、一般的なホウケイ酸ガラスよりも少しもろいです。ですから、丁寧に扱う必要があります。取り付けブラケットを過度に締め付けると、応力によって破損する可能性があります。適度な緩みを保つことが大切です。
また、有機コーティングも使用しません。確かに、金や黒色のコーティングは吸収性能を高めますが、時間が経つと剥がれ落ちてしまいます。真のクリーンルームでは、透明でコーティングされていない石英が最適です。方向制御の精度は少し低下しますが、粒子のない環境が得られます。これは、私が常に選ぶ選択です。
設置時のヒント
これらのランプを接続する際は、電源の安定性に注意しましょう。電圧の急変によってセラミック界面に熱点が形成され、それによってランプの寿命が短くなってしまいます。
良いことに、これらはそのまま交換可能です。セラミックキャップのサイズに合えば問題ありません。ただし、冷却ファンが正常に動作して、シール部分から熱を取り除いているかを確認しましょう。