ウェーハの表面でエネルギーを無駄にしないようにしましょう。 シリコンウェーハを加熱するとき、無駄になる1ワットごとが、実質的にはお金の損失となります。一般的な反射板はあまり効果的ではなく、エネルギーがターゲットに届かずに筐体内に逃げてしまいます。 だからこそ、私たちは金を使用するのです。 聞こえは...

無鉛での硬化処理を適切に行う方法（エネルギーの無駄遣いを避けるために） 半導体業界では、無鉛化や環境に優しいエネルギーの利用が積極的に推進されています。これは良い動きですが、硬化処理の仕方も変わってきます。そこで役立つのが赤外線です。化学溶剤や重金属触媒を使わないため、クリーンな処理が可能になりま...

クリーンな環境を維持する：クラス100の加熱システムで直面する本当の課題 クラス100のクリーンルームで作業している人なら、温度管理は比較的簡単だということを知っているでしょう。しかし、本当の問題は粒子です。 ほとんどの標準的なIRランプは、このような環境では障害となります。それらはガスを放出し、...

製造現場では、わずかな温度の変動だけで多くのウェーハが不良品になってしまいます。ウェーハの乾燥やフォトレジストの加熱処理において、わずかなずれがあっても、数時間後になって初めて欠陥や線幅の変動、歩留まりの低下が現れます。そのため、重要な加熱処理を待たせないように、当社では十分な量のIRランプを常備...