웨이퍼 레벨 패키징용 히터

라인에서는 열에 의한 드리프트가 경고등으로 표시되지 않습니다. 대신, 중요한 치수가 변하거나, 포토레지스트의 두께가 얇아지거나, 많은 양의 웨이퍼가 폐기되고 재가공되는 형태로 나타납니다. 팬아웃 웨이퍼 레벨 패키징에서는 열 관리가 매우 중요합니다. 만약 히터가 실제...