하나의 고장 난 램프로 인해 생산이 중단되는 것을 막으세요. 팹에서 일해본 사람이라면 그 끔찍한 상황을 잘 알 것입니다. 램프가 고장 나면 단순히 생산이 중단되는 것뿐만 아니라, 웨이퍼 위에 석영 조각과 금속 산화물들이 흩어지게 됩니다. 정말 엉망진창인 상황입니다....

fab 라인에서 포토레지스트 베이크 프로파일은 권고사항이 아니라 기준이다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 0.5도만 편차가 나도 CD가 변동하며, 그 순간부터 문제 원인을 추적하느라 라인이 멈추고 스케줄러가 꼬인다. 우리는 프로세스가 요구하는 열 제어를 유지하기 위해 전문...