Üretim tesislerinde bilindiği üzere, sadece 0,2°C’lik bir sıcaklık değişimi bile kritik boyutların değişmesine ve ürünlerin yeniden işlenmesi gerektiğine neden olabilir. Geleneksel fırınlar termal atalet ve havadaki parçacıklarla mücadele eder; bu yüzden her bir atık partisi, üretim kapasitesinin azalmasına ve zaman kaybına yol açar.
Önemli olan noktalar
Temiz oda fırınlarımızı kısa dalga boylu kuvars kızılötesi ısı vericileri kullanarak tasarladık. Enerji doğrudan waferlere ulaştığı için, fırının içini ısıtmadan hızlıca istenen sıcaklığa ulaşılır. Yükün üzerindeki sıcaklık homojenliği ±0,1°C civarında kalır ve partiden parte tekrarlanabilirlik yüksek tutulur. Bu da litografi işlemlerinde katmanların ve CD değerlerinin kontrolünü sağlamak için gerekli olan şeydir.
Isıtıcı, parçacık üretmeyen Class 1–100 temiz odalarda çalışır. Herhangi bir gaz salınımı, kirlenme veya bozulma olmaz. Kontroller, hassas ısıl işlemler için ayarlanmıştır ve reçeteler saklanarak izlenebilirlik sağlanır.
Hızlı soğuma ve minimum bekleme süresi sayesinde enerji tüketimi azalır. Güvenilirlik ise 24/7 çalışma için optimize edilmiştir ve bakım işlemleri önceden planlanabilir.
Neden wafer üretimi ve paketleme için uygundur?
İster fotoresist isterse poliimid işlemleri yapılsın, termal denge çok önemlidir. Bu kızılötesi ısıtıcı sayesinde daha stabil ısıtma performansı elde edilir, döngü süreleri kısalar ve sapmalar azalır. Bu da daha yüksek başarı oranları, daha az atık ve daha düşük wafer maliyetleri anlamına gelir.
Ayrıca tasarımın temiz oda koşullarına uygun olması sayesinde parçacık sayısı düşük kalır. Bu da yüksek performans gerektiren üretim süreçleri için çok önemlidir.
Kurulum ve devreye alma sürecinde neler beklenir?
Temiz oda standartlarına uygun güç ve topraklama gereklidir. Isı vericilerin de uygun mesafede yer alması gerekir ki böylece tüm yük üzerinde homojenlik sağlansın. Yük yoğunluğu ısıtma profilini etkiler; bu yüzden aygıtların waferlerle uyumlu olması gerekir.
Belirli reçeteleri ve ısıtma prosedürlerini belirlemek için kısa bir kurulum süresi gereklidir.