Sınıf 100 temiz odalarını gerçekten temiz tutmak (Waferleri ısıtırken)
Sınıf 100 ortamında çalışırken, tozlarla mücadele etmek zorundasınız. Çok küçük bir toz parçası bile tüm üretimi mahvedebilir.
İşin zor kısmı şu: Waferleri ısıttığınızda tehlike sadece sıcaklık değil; lambanın kendisidir. Standart camlar ısındığında parçalanabilir veya zararlı maddeler salabilir ve bu da ürünlerinize zarar verebilir. Bu yüzden yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz. Hiçbir metalik madde yok, hiçbir sürpriz yok.
“Altın Oran” mesafesi
Kızılötesi lambayı doğrudan waferin üzerine koymak mümkün değil. Bunu yaparsanız, silisyumu bozan tehlikeli sıcak noktalar oluşur. Daha da kötüsü, eğer lamba waferle temas ederse işler biter; anında kirlenme meydana gelir. Doğru mesafeyi bulmak oldukça önemlidir. Lambayı daha yakına getirdiğinizde ısı yoğunlaşır, ancak eşit olmaz. 300 mm’lik wafer üzerinde eşit bir sıcaklık sağlamak için lambanın watt değerini artırmak isteyebilirsiniz. Ancak dikkatli olun; watt değerini fazla artırırsanız lambanın uçları zarar görür.
Neden erimiş kuvars kullanıyoruz?
Her şeyden arındırılmış bir yapı kullanıyoruz; kaplama yok, yapıştırıcı yok, ısındığında parçalanabilecek veya duman çıkarabilecek hiçbir şey yok. Erimiş kuvars kullanıyoruz çünkü tekrar tekrar ısıtılıp soğutulabilecek ve çatlamayacak bir yapıya sahip. Ayrıca özel elektrotlar kullanıyoruz ki bağlantılar bozulmasın. En iyi yanı ise kuvarsin o kadar saf olmasıdır ki kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınlar doğrudan waferin içinden geçer. Bu sayede daha fazla enerji wafer’e ulaşır ve lamba da daha serin kalır.
Tereddütler (“Dikkat edilmesi gerekenler”)
Yüksek saflıkta kuvars kırılgandır. Isıyı sever, ancak sallanmayı sevmez. Eğer montaj braketleri lambanın metal bir yüzeye sürtünmesine izin verirse, yüzeyde hasar oluşur. Bir kez böyle oldu mu, lambanın bozulması an meselesidir. Montaj braketlerinin doğru ayarlandığından emin olun. Ayrıca soğutma sisteminin de yeterince güçlü olduğundan emin olun; waferden geri gelen tüm ısıyı kontrol altında tutabilmelidir.