На заводі з виробництва чипів одна лише ознака наявності вологи після чищення може призвести до пошкодження поверхні чипа. Етап сушіння після чищення не є просто формальністю – це важлива умова для якісного виробництва. Ми розробили спеціальні лампи для сушіння чипів, які забезпечують необхідний температурний контроль відразу після процедури чищення, саме там, де це найбільш важливо.
Що має значення з технічної точки зору
Ми налаштовуємо процес сушіння за допомогою короткохвильового та середньохвильового інфрачервоного випромінювання в кварцових лампах. Мета полягає у швидкому та контрольованому нагріванні без пошкодження фотополімеру. Періодичність зміни температури становить ±0,1°C на всій поверхні чипа, а її однорідність зберігається в дуже вузьких межах, що запобігає змінам критичних розмірів чипа. Система працює без жодних забруднень – не утворюється жодних частинок пилу. Вона може працювати в чистих приміщеннях класу 1–100. Стабільність роботи становить понад 5,000 годин, з втратою потужності менше 5%, тож можна працювати 24/7 без змін параметрів процесу.
Чому це корисно на справжніх заводах
Після чищення чип повинен бути готовий до подальших процедур обробки без жодної залишкової вологи та нових забруднень. Наші лампи швидко видаляють вологу, при цьому залишаючи фотополімер непошкодженим для подальших процедур обробки. Це дозволяє скоротити час виконання процедур, знизити енергоспоживання та кількість необхідних замін ламп. Температурний режим також контролюється, що дозволяє уникнути дефектів, пов’язаних із сушінням.
Ось практичні деталі
Ці лампи потребують відповідних кріплень та чистої електроенергії. Обов’язково переконайтеся, що напруга та тип роз’ємів відповідають вашим умовам. Є короткий час для налаштування спектру та температури. Необхідно заздалегідь спланувати місце розташування лампи, щоб вона була розташована правильно відносно чипа. Також необхідно підтримувати чистоту вікна лампи під час профілактичного обслуговування.