Giữ cho môi trường làm việc ở cấp độ Class 100 luôn sạch sẽ (trong quá trình gia nhiệt các tấm wafer)
Khi làm việc trong môi trường có độ sạch cấp độ Class 100, bạn phải chiến đấu chống lại bụi bẩn. Chỉ cần một hạt bụi nhỏ thôi cũng có thể phá hủy toàn bộ sản phẩm của bạn.
Điều khó khăn là khi gia nhiệt các tấm wafer, nguy hiểm không chỉ đến từ nhiệt độ cao, mà còn từ chính chiếc đèn dùng để gia nhiệt. Thủy tinh thông thường có thể bị vỡ hoặc giải phóng các chất gây ô nhiễm khi bị nung nóng. Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Không có chất kim loại nào cả, và không có nguy cơ gì xảy ra cả.
Khoảng cách lý tưởng
Bạn không thể đặt đèn hồng ngoại ngay sát tấm wafer được. Nếu làm vậy, sẽ xuất hiện những điểm nóng gây biến dạng bề mặt silicon. Tệ hơn nữa, nếu đèn tiếp xúc trực tiếp với tấm wafer thì sản phẩm sẽ bị ô nhiễm ngay lập tức. Việc tìm ra khoảng cách lý tưởng là điều khá khó khăn. Nếu đặt đèn gần hơn, nhiệt độ sẽ cao, nhưng không đồng đều. Nếu đặt đèn xa hơn để đảm bảo nhiệt độ đồng đều trên toàn bộ bề mặt tấm wafer 300mm, bạn có thể muốn tăng công suất đèn lên. Nhưng hãy cẩn thận: nếu tăng công suất quá mức, đầu đèn sẽ bị hỏng.
Tại sao chúng ta sử dụng thạch anh nung chảy
Chúng ta loại bỏ mọi thứ không cần thiết – không có lớp phủ, không có keo, và không có bất cứ thứ gì có thể bị vỡ hoặc tạo khói khi bị nung nóng. Chúng ta sử dụng thạch anh nung chảy vì nó có thể chịu được việc được nung nóng và làm lạnh đi lại nhiều lần mà không bị vỡ. Chúng ta cũng sử dụng các điện cực chuyên dụng để đảm bảo rằng mối nối giữa đèn và các bộ phận khác không bị hỏng. Điều tuyệt vời nhất là thạch anh có độ tinh khiết cao, vì vậy bức xạ hồng ngoại ngắn sóng có thể đi qua mà không bị giữ lại trong thành ống. Điều này giúp năng lượng được truyền trực tiếp vào tấm wafer, đồng thời giúp đèn giữ được nhiệt độ ổn định.
Những nhược điểm
Tuy nhiên, thạch anh có độ tinh khiết cao lại khá giòn. Nó thích nhiệt độ cao, nhưng lại không thích bị rung động. Nếu các bộ phận giữ đèn để lại vết trầy xước trên bề mặt kim loại, đèn sẽ nhanh chóng bị hỏng. Hãy đảm bảo rằng các bộ phận giữ đèn được điều chỉnh chính xác. Đừng quên hệ thống làm mát – hệ thống này cần phải mạnh mẽ đủ để xử lý lượng nhiệt lớn phát ra từ tấm wafer.