洗浄用防水赤外線ランプ

300mmラインでは、洗浄によって生じる熱変動が、次の焼成処理を行う前にフォトレジストの特性を悪化させてしまいます。そうした変動を防ぐために、防水仕様の赤外線洗浄ランプを開発しました。このランプにより、DI水を使用する間もウェーハ表面の温度が一定に保たれ、重要な寸法も規格内に留まります。 技術的に...