真空対応赤外線ヒーター

なぜ真空システムでは熱風式のヒーターから赤外線ヒーターに切り替えるのか 半導体の高度な加工を行っている人なら、この問題はよくわかるでしょう。熱が必要であり、しかも迅速に熱を供給する必要があります。長い間、私たちは強制空気循環方式に頼ってきましたが、大きな問題があります。つまり、真空中では熱風を送り...