ウェーハ加工装置用温度センサー

なぜウェーハを加熱するのに金が使われるのか 半導体ウェーハを加熱するとき、より多くの電力を使えばいいと思いがちです。しかし、実際に重要なのは単純なワット数ではありません。本当に重要なのは、そのエネルギーのうちどれだけが実際に基板に届くかということです。 問題は、一般的な石英ランプには熱が漏れやすい...