ライン上では、熱的ドリフトは警告灯として現れません。代わりに、寸法の変動やフォトレジストの厚みの減少、または多くのワークが廃棄され再加工されるといった形で現れます。ファンアウト型ウェーハレベルパッケージングでは、熱制御が非常に重要です。もしヒーターがウェーハ全体に均一な温度を保てない場合、切断作業...

ファブフロアで クリーンリンスを終えたばかりのウェハーには華麗さは不要で、求められるのは挙動の正確さである。水分残留、ムラのある加熱、微細な粒子は、クリティカルディメンションをずらし、フォトレジストの接着性を損ない、再作業へとつながる。自動ウェハードライヤーヒーターはこれらの変動要因を排除し、乾燥...