ステンレス鋼ヒーター筐体製作

ファブフロアでは即座に学ぶことになる。フォトレジスト焼き付けの温度が0.5℃ずれるだけでCDの均一性が崩れ、一つの異物発生で大きなロスにつながる。ステンレス製ヒーター筐体は、シフトをまたぎロットを重ねてもプロセスウィンドウ内の熱性能を維持するために設計された。 技術的に重要なポイント 筐体は...