洗浄後のウェーハ乾燥ランプ

製造現場では、洗浄後にわずかな水分が残っているだけで、ウェーハが破損してしまいます。洗浄後の乾燥工程は単なる休憩時間ではなく、厳格な仕様が求められます。私たちは、ウェーハを迅速かつ適切に乾燥させるためのランプを開発しました。これにより、湿式洗浄直後に必要な熱制御が実現されます。 技術的に重要な点...