半導体製造装置の熱が漏れ出るのを防ぎましょう。 一度、装置の表面に触れてびっくりしたことはありませんか？それは「ホットウォール現象」です。これは、通常の対流加熱方式を使っている場合に起こります。つまり、空気を温めたり、熱をあちこちに放出する素子を使ったりするわけです。これはエネルギーの無駄遣いであ...

ファブの現場では、フォトレジストのベーク処理は単なる快適さのためのものではありません。これは、絶対に見過ごしてはならない熱的制約条件です。ソフトベークやハードベーク時に0.5°Cでも温度が変動すると、重要な寸法管理が失われ、歩留まりも低下します。私たちは、このような熱的制約を厳守できるように、赤外...