なぜ真空システムでは熱風式のヒーターから赤外線ヒーターに切り替えるのか 半導体の高度な加工を行っている人なら、この問題はよくわかるでしょう。熱が必要であり、しかも迅速に熱を供給する必要があります。長い間、私たちは強制空気循環方式に頼ってきましたが、大きな問題があります。つまり、真空中では熱風を送り...

真空チャンバーが爆発するのを防ぐ方法 もし化学的な清掃のために真空チャンバーを使用しているのであれば、その恐ろしい状況は既にご存知でしょう。可燃性や爆発性のある溶剤が周囲に漂っており、加熱も必要です。問題は、一般的な赤外線ランプは「開放型」であるということです。つまり、加熱素子が直接外部に露出して...