ファブ内での炭素削減：なぜ私たちが赤外線加熱に切り替えているのか クリーンルームで作業したことがある人なら、その状況はよくわかるでしょう。ウェーハや基板を自由に動かすことはできず、一定の温度を保つ必要があります。そうしなければ、結露や熱衝撃が起こり、それは誰も望まない最悪の事態です。 最近では、「...

なぜスマートファブでは赤外線を採用するのか インダストリー4.0向けのスマートファブを構築する際、まず最初にやるべきことは、古い方式の対流式ヒーターを使わないことです。そうしたヒーターはもはや役に立ちません。私たちは熱エネルギーを供給するために赤外線システムを採用しています。なぜなら、空気の流れに...

壊れたランプが生産効率を低下させるのを防ごう ファブで働いたことがある人なら、この悪夢のような状況を知っているはずです。1つのランプが壊れると、単に稼働停止に直面するだけでなく、ウェーハ全体がクォーツの破片や金属酸化物で覆われてしまいます。本当にひどい状態です。修復するのに何日もかかり、莫大なコス...

高温環境でも心臓発作を引き起こさない照明装置 想像してみてください。あなたは高圧的な生産工程の真っ只中にいるのです。時間は刻々と過ぎていき、ラインも順調に動いています。最悪なのは、照明装置が故障してしまうことです。 クリーンルームでは、照明装置が故障すると単なる故障以上の問題になります。それは大規...

ファブ内では、ご存知の通り、フォトレジストを加熱する際に0.2℃でも温度が変動すれば、ウェハの寸法が変わってしまい、そのロットは再加工が必要になります。従来のオーブンでは、熱の慣性や空気中の粒子の影響を克服するのが難しく、結果として廃棄されるロットが発生し、生産スケジュールに支障が出ます。 重要な...

はじめに 現場の話をしましょう。現場は完璧で清潔な環境ではありません。電源もほとんど安定した220Vではありません。変動します。そしてその変動こそが、ヒーターの発熱体が寿命よりずっと早く壊れる一番の原因です。 そこで私たちは、そのような厳しい現実に対応できる赤外線ヒーターを開発しました。ユニット内...

はじめに ホテルの地下室で骨の髄まで冷えるような寒さを感じたことはありませんか？毛布を何枚重ねても消えないあの冷え込みです。私たちはその感覚を追い払うために、この赤外線ヒーターを作りました。 これらは湿気があり、冷たく、汗をかいて震えているような地下室のために作られています。考え方はシンプルです：...