壊れたランプが生産効率を低下させるのを防ごう
ファブで働いたことがある人なら、この悪夢のような状況を知っているはずです。1つのランプが壊れると、単に稼働停止に直面するだけでなく、ウェーハ全体がクォーツの破片や金属酸化物で覆われてしまいます。本当にひどい状態です。修復するのに何日もかかり、莫大なコストがかかります。
高負荷の加熱処理を行う際、これらのランプは大きな負担を受けます。熱ストレスも相当なものです。だからこそ、私たちは、高温に耐えられるように赤外線ランプを設計しているのです。
ガラスの破損を防ぐ
まず、高純度の融結石英を使用します。これは非常に強く、急激な温度変化にも耐えられます。しかし、それだけでは不十分です。そのため、破損を防ぐコーティングや保護シースを追加します。これはまるで保険のようなものです。フィラメントが焼き切れたり、ガラスが割れたりしても、コーティングが破片を閉じ込めてくれます。そうすることで、生産ラインが破片で埋め尽くされるのを防げます。
熱との戦い
高密度の熱はシール部にとって非常に厳しい条件です。これに対処するため、特定のシール技術を用いてガスの漏れを防ぎます。そうすることで、ランプが早期に故障するのを防げます。
ひとつアドバイス：冷却状態にも注意しましょう。ワット数を上げても、十分な空気の流れがないと、エンドキャップが過熱してしまいます。そして過熱すると、シールが破れてしまいます。とても簡単な話です。
実際の環境での使用
また、振動にも耐えられるようにコネクタも設計しています。なぜかというと、接続が緩むとアークが発生し、その結果、チューブが破損してしまうからです。
最後に、500時間ごとに接触部分のトラブルをチェックしてください。1分しかかかりませんが、これによってホットスポットの発生を防ぎ、ピーク時の生産時にランプが破損するのを防げます。