プロフェッショナルファブ機器のスペアパーツ

ファブフロアでは、フォトレジストのベークプロファイルは「提案」ではなく「基準」です。ウェハ全体でわずか0.5℃のずれがCDを変動させ、ラインが停止し、原因を追いかける間にスケジューラが混乱します。当社のプロ用ファブ装置用スペアパーツは、熱制御をプロセスが必要とする位置に確実に固定するために設計され...