用于冲洗的防水红外线灯

在300毫米光刻线上，冲洗过程中产生的热量变化会导致光刻胶的参数发生波动，从而影响后续的曝光工序。为此，我们设计了防水的红外冲洗灯，以此来消除这种不确定性。该灯光能在DI水冲洗过程中保持晶圆表面温度的稳定性，从而确保关键尺寸符合标准。 从技术角度来说，最重要的是： 该灯属于短波红外光源，能够高效地...