洁净室烤箱红外加热器

在芯片制造厂里，大家都知道：即使光刻胶的烘烤温度偏离设定值0.2摄氏度，也足以导致关键尺寸出现偏差，从而需要重新加工该批次产品。传统的烘箱难以克服热惯性以及空气中的颗粒物带来的影响，而每批被废弃的产品都会导致产能损失和进度延误。 核心优势在于： 我们设计的洁净室烘箱采用了短波石英红外发射器。能量可...