带金色反射器的红外灯泡
为什么需要使用镀金反射器? 在晶圆加工过程中,浪费电能意味着白白损失金钱。大多数设备都会让大量能量散失到机器的机壳中,这显然是一种浪费。因此,我们在红外灯泡上使用了镀金反射器。这样,热量就不会四处散失,而是被直接引导到正确的位置——即硅片表面。
镀金的优点 市面上有很多铝制反射器。虽然它们也有一定...
红外灯用铝制反射器
正确实现无铅固化处理(避免能源浪费) 半导体行业正在努力朝着无铅和绿色能源的方向发展。这无疑是个正确的方向,但它也改变了我们进行固化处理的方式。这时,红外线技术就派上用场了。由于不需要使用那些有害的化学溶剂或重金属催化剂,因此红外线技术是实现无污染处理的理想选择。
不过,这里有个问题:不能简单地把...
晶圆固化灯用反光器
在光刻工艺中,如果在光阻烘烤过程中,晶圆表面的温度偏差达到0.5℃,那将会严重影响线宽控制的精度,进而降低产量。光固化灯中的反射器并非简单的硬件组件,它实际上决定了热场的分布,从而确保每次加工过程都能保持一致性。
我们为这种光固化灯设计了专用反射器,使其能够保持±0.1℃的温度均匀性,这样就能让软...