MEMS传感器晶圆干燥加热器

无需费力即可干燥MEMS晶圆 如果您有过MEMS芯片制造的工作经验，那么您一定知道干燥晶圆有多麻烦。这确实是一个巨大的难题——必须彻底去除晶圆上的液体，而且不能留下任何残留物。 我们的解决方案是使用短波红外灯直接照射晶圆表面。这是一种快速蒸发的方法。其目的就是让晶圆完全干燥，同时避免整个设备变成“...