用于制造厂的红外加热模块

在芯片制造过程中，光阻烘烤并非为了追求舒适性，而是为了确保温度控制准确无误。无论是软烘还是硬烘，只要温度偏差达到0.5℃，就可能导致关键尺寸控制失准，进而影响产品的良率。我们设计的红外加热模块能够确保每一轮烘烤过程中的温度都保持在精确范围内。 该模块通过封闭的、以石英为材质的光路来传递短波红外能量...