In der Fertigungshalle geht es bei der Erhitzung des Fotoleitmittels nicht um Komfort – vielmehr handelt es sich um einen thermischen Rahmen, den man auf keinen Fall überschreiten darf. Eine Abweichung von 0,5 °C während der Erhitzung kann zu Problemen bei der Kontrolle der wichtigen Dimensionen führen und somit die Ausbeute beeinträchtigen. Wir haben unsere Infrarotheizmodule so konstruiert, dass dieser thermische Rahmen in jedem Zyklus eingehalten werden kann.
Wir nutzen Kurzwellen-Infrarotemitter, die über einen versiegelten, aus Quarz bestehenden Lichtweg arbeiten. Dadurch entsteht eine schnelle, strahlende Wärmeabgabe mit minimaler thermischer Inertie. In der aktiven Zone bleibt die Homogenität auf dem Wafer bei ±0,1 °C – die Wiederholbarkeit zwischen verschiedenen Chargen liegt bei ±0,5 °C. Die Einstellungstemperatur kann innerhalb von Sekunden stabilisiert werden, sodass das Verfahren auch dann noch reproduzierbar bleibt, wenn die Anlage in Bewegung ist. Das Modul ist für Reinräume geeignet (Klasse 1–100) und seine konzipierte Struktur verhindert einen Anstieg der Partikelzahl während der Erhitzung.
Warum das in der Lithografie wichtig ist: Der Erhitzungsschritt bestimmt das Profil des Fotoleitmittels. Eine stabile Temperatur direkt an der Oberfläche des Wafers verringert die Empfindlichkeit gegenüber Reflexionen und verbessert die Homogenität der Strukturen. Dasselbe Prinzip gilt auch für das Reinigen und Trocknen des Wafers – durch kontrollierte, gleichmäßige Erwärmung werden die Effekte der Oberflächenspannung verringert, was wiederum dazu beiträgt, Kollapsen der Strukturen zu vermeiden. Der Energieverbrauch sinkt, da die Emittoren nur das Zielobjekt erwärmen und nicht den gesamten Raum.
Die Zuverlässigkeit hängt vom Betriebszeitraum ab. Das System kann 24/7 ohne Unterbrechungen betrieben werden, solange die Wartungsintervalle eingehalten werden.
Was bei der Integration zu beachten ist:
Die Emissivität variiert je nach Materialien und Metallschichten. Deshalb muss die Temperaturregelung an die jeweiligen Schichten angepasst werden – nicht nur an das Gerät selbst. Das Modul ist zwar kompakt, doch man muss trotzdem auf ausreichende Wärmedistanzen sowie Schutzmaßnahmen achten – sonst entsteht eine parasitäre Erwärmung der benachbarten Komponenten.
Planen Sie einen kurzen Testbetrieb, um die Einstellungen festzulegen. Sobald alles eingestellt ist, bleibt das Verfahren reproduzierbar, vorhersehbar und leise.