در کارخانههای تولید ویفر، میدانید که حتی اختلاف دمایی به میزان ۰.۲ درجه سانتیگراد نیز میتواند باعث تغییر ابعاد مهم ویفر شود؛ در نتیجه، مجبور میشویم محصولات را برای تصحیح دوباره ارسال کنیم. فرهای معمولی، با این مشکلات مقابله میکنند؛ اما هر بار که محصولات ناموفق باشند، این امر منجر به از دست رفتن ظرفیت تولید و تأخیر در برنامههای تولیدی میشود.
چه چیزی اهمیت دارد؟ ما فر کارخانههای تمیز را با استفاده از فرستندههای مادون قرمز کوارتزی ساختهایم. انرژی مستقیماً به ویفر منتقل میشود؛ بنابراین میتوانیم به سرعت دمای مورد نظر را ثبت کنیم، بدون اینکه حجم گازهای موجود در فر افزایش یابد. یکنواختی دما در سراسر ویفر، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ همچنین، تکرارپذیری این فر نیز بسیار بالاست؛ این ویژگیها دقیقاً همان چیزی هستند که برای کنترل ابعاد ویفر در فرآیندهای لیتوگرافی لازم است.
این فر در کارخانههای تمیز کلاس ۱-۱۰۰ کار میکند؛ در این کارخانهها، هیچ ذرهای تولید نمیشود؛ این موضوع از طریق نظارتهای لحظهای تأیید میشود. هیچ گازی خارج نمیشود، هیچ آلودگیای وجود ندارد. کنترلهای این فر به گونهای تنظیم شدهاند که بتواند دمای مورد نظر را به طور دقیق تنظیم کند؛ همچنین، روشهای استفاده از این فر نیز ثبت شدهاند تا بتوان از آنها برای ردیابی استفاده کرد.
مصرف انرژی نیز به دلیل کاهش سریع دما و حداقل گرمای تولید شده، کاهش مییابد. قابلیت اطمینان این فر نیز به گونهای است که بتواند ۲۴ ساعته کار کند؛ همچنین، زمانهای تعمیرات نیز قابل پیشبینی هستند.
چرا این فر در کارخانههای تولید ویفر و بستهبندی مفید است؟ در هر فرآیندی، مدیریت دما بسیار مهم است؛ چه در فرآیندهای مربوط به فوتورزیست و چه در فرآیندهای مربوط به پلیایمید. با استفاده از این فر مادون قرمز، میتوانیم عملکرد پایداری داشته باشیم، زمان فرآیند را کوتاه کنیم و اختلافات دمایی کمتری داشته باشیم. این امر منجر به افزایش بازدهی تولید، کاهش محصولات ناموفق و کاهش هزینههای تولید ویفر میشود.
همچنین، به دلیل ساختار مناسب این فر، تعداد ذرات موجود در فر نیز کم است؛ این موضوع برای تولید ویفرهای با ابعاد ریز بسیار مهم است.
چه چیزی را میتوانید انتظار داشته باشید؟ برای استفاده از این فر، نیاز به برق با کیفیت و سیستم زمینسازی مناسب دارید. همچنین، فاصله مناسبی بین فرستندههای انرژی نیز ضروری است تا یکنواختی دما حفظ شود. تراکم ویفرها نیز بر عملکرد فر تأثیر میگذارد؛ بنابراین، باید فر را متناسب با ویفرهای مورد استفاده تنظیم کنید.
همچنین، برای تنظیم دقیق فر، نیاز به زمان کوتاهی برای تست دارید.