در خط تولید ۳۰۰ میلیمتری، نوسانات حرارتی ناشی از فرآیند شستشو، باعث تغییرات در ویژگیهای فوتورزیست میشود؛ این تغییرات قبل از فرآیند پخت بعدی، منجر به اختلال در کیفیت تصویر تولید شده میشود. ما یک لامپ مادون قرمز ضدآب ساختیم تا این نوسانات را کنترل کند. این لامپ، سطح ویفر را در دمای ثابتی نگه میدارد؛ بنابراین ابعاد کلیدی ویفر در محدوده استاندارد باقی میمانند.
از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟ این لامپ در بازه موجهای کوتاه مادون قرمز کار میکند؛ این امر باعث گرم شدن سریع سطح ویفر میشود. پوشش کوارتزی و بدنه ضدآب IP67، این لامپ را برای استفاده در اتاقهای تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ مناسب میسازد؛ هیچ گازی از لامپ خارج نمیشود و هیچ ذرهای نیز وجود ندارد. در منطقه روشن شده، یکنواختی دمای ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ همچنین، تکرارپذیری کیفیت در بین محمولههای مختلف نیز ثابت است.
کنترل این لامپ به صورت مستقیم انجام میشود؛ یعنی حتی در صورت تغییر ولتاژ، خروجی لامپ پایدار باقی میماند.
چرا این لامپ در ایستگاه شستشو مؤثر است؟ در ایستگاههای شستشو، انرژی حرارتی به طور ناخواسته مصرف میشود؛ با استفاده از این لامپ، دیگر نیازی به جبران این نوسانات حرارتی نیست؛ همچنین، زمان لازم برای پخت نیز کمتر میشود. در نتیجه، محمولههایی که نیاز به تعمیر دارند کمتر میشوند، میزان ضایعات کاهش مییابد و کنترل ابعاد ویفر نیز بهتر میشود.
گرمایش در این لامپ به صورت موضعی و به درخواست انجام میشود؛ بنابراین انرژی بیشتری برای گرم کردن آب مصرف نمیشود. قابلیت اطمینان این لامپ نیز ثابت شده است؛ این لامپ میتواند بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار کند، بدون اینکه کمتر از ۵٪ از خروجی آن کاهش یابد؛ این امر باعث کاهش زمان توقف ناخواسته و کاهش موجودی قطعات یدکی میشود.
چه چیزهایی را باید از قبل بدانید؟ این لامپ برای نصب عمودی یا افقی روی منطقه شستشو طراحی شده است؛ همچنین، نیاز به یک رابط تغذیه و کنترل مناسب برای استفاده با این لامپ وجود دارد. فاصله لامپ از مسیر ویفر نیز باید مناسب باشد تا سایهای ایجاد نشود.
برای رسیدن به دمای مورد نظر، نیاز به زمان کوتاهی برای گرم شدن لامپ وجود دارد؛ لذا باید زمان لازم برای گرم شدن لامپ را در فرآیند تولید لحاظ کرد.