फैब्रिकेशन फ्लोर पर, सफाई के बाद थोड़ा सा भी पानी होना वेफर को नष्ट करने के लिए पर्याप्त है। सफाई के बाद की सुखाने की प्रक्रिया कोई विराम नहीं है – यह तो एक महत्वपूर्ण मानक है। हमने ऐसे लैंप बनाए हैं जो गीली सफाई के तुरंत बाद आवश्यक तापमान नियंत्रण प्रदान करें।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज लैंपों का उपयोग करके छोटी-मध्यम तरंगदैर्घ्य वाली इन्फ्रारेड तरंगों का उपयोग करके सुखाने की प्रक्रिया को नियंत्रित करते हैं। लक्ष्य है तेज़ एवं नियंत्रित तापन, ताकि फोटोरेसिस्ट को कोई नुकसान न पहुँचे। वेफर पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C तक रहती है; इससे महत्वपूर्ण आयामों में कोई बदलाव नहीं होता। यह सिस्टम डिज़ाइन के अनुसार ही काम करता है – कोई कण नहीं उत्पन्न होता, एवं यह क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही काम कर सकता है। 5,000+ घंटों तक इसकी स्थिरता बनी रहती है, एवं तापमान में 5% से कम की गिरावट होती है; इसलिए इसे 24/7 चलाया जा सकता है।
वास्तविक फैब्रिकेशन फ्लोरों में इसका उपयोग क्यों किया जाता है?
सफाई के बाद, वेफर में कोई अवशिष्ट नमी नहीं होनी चाहिए, ताकि उसे बेक किया जा सके। हमारे लैंप तेज़ी से नमी को हटा देते हैं, जबकि फोटोरेसिस्ट को कोई नुकसान नहीं पहुँचता। इससे चक्र समय कम हो जाता है, ऊर्जा की खपत कम हो जाती है, एवं लैंपों को बदलने की आवश्यकता भी कम हो जाती है। तापमान नियंत्रण में रहने से, ड्राइंग संबंधी दोष भी कम हो जाते हैं।
व्यावहारिक विवरण:
इन लैंपों के लिए उचित फिक्स्चर एवं स्वच्छ बिजली आवश्यक है। वोल्टेज एवं कनेक्टरों की सुसंगतता आपके होस्ट ट्रैक/कोटर/बेक प्लेटफॉर्म के अनुरूप होनी चाहिए। स्पेक्ट्रम एवं तापमान को स्थिर करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है। लैंप को वेफर के रास्ते में ही रखना आवश्यक है, एवं रखरखाव के दौरान लैंप की खिड़की में कोई अवशेष नहीं होना चाहिए।