調光可能な半導体ヒーターランプ
ファブ内では、フォトレジストの焼成工程において重要なのは、熱管理です。わずか半度の温度変動だけでCDの均一性が損なわれ、昇温速度が遅いと生産効率が低下します。私たちは、ウェーハの温度管理において余裕がない状況でも、安定した調整可能な加熱を実現するために、このような半導体ヒーターランプを開発しました...
調光可能なパティオヒーター
はじめに 真実をお伝えします:私たちは、この調光可能な赤外線パティオヒーターを、年を重ねても信頼できる製品として作りました。トラブルなし、ダウンタイムなし。
コンセプトはシンプルです:加熱要素をアクセス可能なパーツにすること。故障したときに厄介な密閉ユニットではなく、5年経ってチューブを交換すると...