ファブ内での炭素削減：なぜ私たちが赤外線加熱に切り替えているのか クリーンルームで作業したことがある人なら、その状況はよくわかるでしょう。ウェーハや基板を自由に動かすことはできず、一定の温度を保つ必要があります。そうしなければ、結露や熱衝撃が起こり、それは誰も望まない最悪の事態です。 最近では、「...

なぜスマートファブでは赤外線を採用するのか インダストリー4.0向けのスマートファブを構築する際、まず最初にやるべきことは、古い方式の対流式ヒーターを使わないことです。そうしたヒーターはもはや役に立ちません。私たちは熱エネルギーを供給するために赤外線システムを採用しています。なぜなら、空気の流れに...

壊れたランプが生産効率を低下させるのを防ごう ファブで働いたことがある人なら、この悪夢のような状況を知っているはずです。1つのランプが壊れると、単に稼働停止に直面するだけでなく、ウェーハ全体がクォーツの破片や金属酸化物で覆われてしまいます。本当にひどい状態です。修復するのに何日もかかり、莫大なコス...

高温環境でも心臓発作を引き起こさない照明装置 想像してみてください。あなたは高圧的な生産工程の真っ只中にいるのです。時間は刻々と過ぎていき、ラインも順調に動いています。最悪なのは、照明装置が故障してしまうことです。 クリーンルームでは、照明装置が故障すると単なる故障以上の問題になります。それは大規...

ファブ内では、ご存知の通り、フォトレジストを加熱する際に0.2℃でも温度が変動すれば、ウェハの寸法が変わってしまい、そのロットは再加工が必要になります。従来のオーブンでは、熱の慣性や空気中の粒子の影響を克服するのが難しく、結果として廃棄されるロットが発生し、生産スケジュールに支障が出ます。 重要な...