揮発性化学物質がある場所でIRランプを安全に使用するには もしバイオセンサーを製造しているのであれば、硬化や乾燥のために正確な温度が必要だということはご存知でしょう。しかし、その熱源が可燃性の洗浄剤のすぐ隣にある場合、状況は非常に危険になります。 通常のIRランプは、このような環境では危険な存在で...

バイオセンサーの製造過程においてウェーハを清潔に保つ方法 高負荷状態でランプが故障すると、単に停止時間が発生するだけではありません。それ以上に、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに降り注ぎます。これは、ウェーハの品質を著しく低下させる要因となります。 私たちは、そのような事態を防ぐために、赤外線...

可燃性のある物質がある場合のIR加熱の取り扱い方法 バイオセンサーを製造する際には、硬化や乾燥のために正確な温度が必要です。しかし、その際、基板はしばしば可燃性のある洗剤に浸されています。 問題は、通常の開放型のIRランプをそのような環境に設置すると、火災の危険が高まるということです。これは非常に...

空気を加熱するのに時間を無駄にしないで：バイオセンサーにおけるIRの利点 もし、バイオセンサーの製造工程に携わったことがあるなら、その手順はよくわかるでしょう。従来の装置では、熱風を使って空気を加熱します。これは標準的な方法ですが、正直なところ、効率が悪いのです。 考えてみてください。基板を適切な...

なぜ金メッキされた反射器が重要なのか ウェーハの処理において、エネルギーを無駄にすることは、まるでお金を捨ててしまうようなものです。ほとんどの装置では、余分なエネルギーが機械のケース内に溜まってしまい、それは無駄遣いになります。そのため、私たちはIR電球に金メッキされた反射器を使用しています。そう...

なぜ真空システムでは熱風式のヒーターから赤外線ヒーターに切り替えるのか 半導体の高度な加工を行っている人なら、この問題はよくわかるでしょう。熱が必要であり、しかも迅速に熱を供給する必要があります。長い間、私たちは強制空気循環方式に頼ってきましたが、大きな問題があります。つまり、真空中では熱風を送り...

クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために もし、クラス100の環境で作業しているのであれば、エアフィルターだけでは不十分だということはご存知でしょう。実際の問題は、装置自体にあります。 半導体製造やスマートセンサーの梱包作業において、一般的な加熱ランプは大きな問題となります。これ...

加熱時にグローブボックスを真に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業を行うとき、加熱というのは単に物を温めるだけではありません。痕跡を残さずに加熱することが重要です。そういう厳しい環境では、ほんの少しのほこりやヒーターから飛び散る微粒子でさえも問題になります。それは単なる迷惑どころか、完...

もう、ヒーターを待っている時間を無駄にしないでください。オゾンフリーの赤外線ランプを使えば、より効率的に作業できます。 もし依然として半導体処理に熱風循環方式を使っているのであれば、おそらく多くの時間を「待つ」ことに費やしているはずです。チャンバーが十分に温まるのを待つ、加熱された空気が基板に十分...

金メッキを施したIRランプで安全を守る 半導体製造の現場で働いたことがある人なら、その厳しさはよくわかるでしょう。そこでは、反応性が高く、不安定な化学物質を扱わなければなりません。状況が悪化すると、爆発する可能性もあります。では、そんな環境に高温のIRランプを使ったらどうなるでしょうか？ 普通の石...

なぜ私たちは、工場内で古いオーブンの代わりにIR硬化装置を使うのか？ 正直言って、あの昔ながらの対流式オーブンはもう時代遅れです。半導体業界では、認証済みの赤外線硬化装置への移行が急激に進んでいます。これは単に「グリーン」な基準を満たすためや、鉛フリー化の規制を遵守するためだけではありません。実際...

なぜ、私たちはバスルーム用のランプを厳しい環境下でテストするのか？ 正直に言えば、バスルームというのは電子機器にとっては地獄のような場所です。熱いシャワーから出る蒸気や常に高い湿度のせいで、まるで熱帯雨林のような状態になってしまいます。 もしヒーティングランプの耐久性が悪ければ、密封部分から漏れが...

なぜ更衣室で赤外線を使うのか？ 熱いシャワーから出て、まるで冷凍庫のように寒い更衣室に入ったことはありませんか？それは最悪です。 ほとんどのヒーターは空気を温めようとします。しかし、風が吹き抜ける広々とした更衣室では、その温かい空気はあなたのところに届く前にすぐに逃げてしまいます。私たちは異なる方...

バスルームで震えるのをやめましょう。 シャワーから出たときに感じる冷たい空気の衝撃は、誰もが嫌うものです。私たちもみんな同じ経験をしてきました。これを解決するために、部屋全体を温めるのではなく、人間自身に焦点を当てるようにしました。 そのため、鏡の後ろに短波赤外線照射装置を設置しています。空気を温...

なぜ高い天井に設置されたヒーターが壊れてしまうのか 職場でのちょっとした秘密をお教えします。ほとんどの赤外線ヒーターが故障するのは、発熱体が単純に壊れるからではありません。実際には、配線部分が先に壊れてしまうのです。 高い天井に設置されているこれらのヒーターは、過酷な状況下で働いています。何千時間...

なぜスマートファブでは赤外線を採用するのか インダストリー4.0向けのスマートファブを構築する際、まず最初にやるべきことは、古い方式の対流式ヒーターを使わないことです。そうしたヒーターはもはや役に立ちません。私たちは熱エネルギーを供給するために赤外線システムを採用しています。なぜなら、空気の流れに...

なぜカーボンファイバー式の赤外線ランプが半導体工場で古いオーブンに取って代わられているのか 正直に言えば、対流式オーブンや溶剤を使った乾燥法はもう限界に来ています。ほとんどの工場では、これらの方法を使わなくなっています。その理由は、まず機械自体が重くて扱いにくいからですが、何よりも「無鉛化」や「環...

防水型赤外線ヒーターを長持ちさせる方法 正直なところ、ほとんどの赤外線テーブルヒーターは、わずかな水分にも耐えられないために壊れてしまいます。 たとえ少量の水が飛び散ったり、時間が経つにつれて結露が溜まったりしても、水分こそが最大の敵です。水滴が高温のクォーツチューブに当たったり、電気接点に入り込...

爆発を防ぐために：化学処理エリアでのIR加熱 バイオセンサーを製造する際、清掃工程はかなり面倒なものです。空気中には可燃性の溶剤や爆発性の蒸気が存在しています。通常のIRランプは、基本的に開放型の加熱器です。そのような環境では、わずかな火花や、少し過度に高温になった表面だけで、実験室が破壊されてし...

バスルームにある赤外線ヒーターが危険な存在にならないようにするためには、以下の点に注意しましょう。 正直に言って、バスルームにヒーターを設置するのは、注意しなければ災害を招くようなことです。蒸気や水しぶき、そして常に高い湿度があります。水と電気は相性が悪いので、ケースに隙間があると短絡や接地不良を...

浴室のカビを防ぐ簡単な方法 ほとんどの人は、天井にあるヒーターというのは、朝の身支度の際に肩を温めるためのものだと思っています。確かに、それも便利な機能です。しかし実際には、これらの装置は壁を乾燥させるための秘密兵器なのです。 なぜ壁が湿ったままになるのか 私たちもみんな経験があります。通常のヒー...

真空チャンバーが爆発するのを防ぐ方法 もし化学的な清掃のために真空チャンバーを使用しているのであれば、その恐ろしい状況は既にご存知でしょう。可燃性や爆発性のある溶剤が周囲に漂っており、加熱も必要です。問題は、一般的な赤外線ランプは「開放型」であるということです。つまり、加熱素子が直接外部に露出して...

もう、ヒーターを捨てるのはやめましょう。 正直に言って、ほとんどのバスルーム用赤外線ヒーターは、実質的に使い捨て製品です。買ったら5年間は暖かくしてくれますが、その後はヒーターの部品が壊れてしまいます。そうなると、修理するために高額な費用を支払わなければならないか、新しいものを購入するしかありませ...

高温環境でも心臓発作を引き起こさない照明装置 想像してみてください。あなたは高圧的な生産工程の真っ只中にいるのです。時間は刻々と過ぎていき、ラインも順調に動いています。最悪なのは、照明装置が故障してしまうことです。 クリーンルームでは、照明装置が故障すると単なる故障以上の問題になります。それは大規...

なぜこの製品を開発したのか 私たちがこの赤外線乾燥装置のコントローラーを開発したのには、一つの理由があります。それは、安全性を犠牲にすることなく、正確な熱を供給するためです。 可燃性の化学物質が存在する場所では、通常のヒーターは危険を招く可能性があります。そこで、デジタルコントローラーと、迅速に乾...

ファブ内では、ご存知の通り、フォトレジストを加熱する際に0.2℃でも温度が変動すれば、ウェハの寸法が変わってしまい、そのロットは再加工が必要になります。従来のオーブンでは、熱の慣性や空気中の粒子の影響を克服するのが難しく、結果として廃棄されるロットが発生し、生産スケジュールに支障が出ます。 重要な...

ファブの現場では、フォトレジストのベーク処理は単なる快適さのためのものではありません。これは、絶対に見過ごしてはならない熱的制約条件です。ソフトベークやハードベーク時に0.5°Cでも温度が変動すると、重要な寸法管理が失われ、歩留まりも低下します。私たちは、このような熱的制約を厳守できるように、赤外...

300mmラインでは、洗浄によって生じる熱変動が、次の焼成処理を行う前にフォトレジストの特性を悪化させてしまいます。そうした変動を防ぐために、防水仕様の赤外線洗浄ランプを開発しました。このランプにより、DI水を使用する間もウェーハ表面の温度が一定に保たれ、重要な寸法も規格内に留まります。 技術的に...

製造現場において、加熱処理の工程こそが、熱的な制約条件を決定する重要な要素となります。ソフトベイクやハードベイクの温度が2°C変動するだけで、ウェーハの寸法に影響が出ます。また、加熱の過程で粒子が発生してしまうと、そのロットは廃棄されてしまいます。従来の加熱方式では、高度なノードで求められる微小な...

製造現場では、ご存知の通り、フォトレジストの焼成時に温度がわずかでも変動してしまうと、重要な寸法制御が崩れてしまいます。単に「熱」があればいいわけではありません。何よりも重要なのは、シフトを重ねてもプロセス範囲内で温度が安定し続けることです。 技術的に重要な点 私たちは、短波長のNIRを発する線形...

現代的なリビングルームは、シンプルで洗練されたデザインが特徴です。クリーンなライン、温かみのある木材、控えめな色使いが特徴です。しかし、このミニマリスティックな雰囲気は、外気が冷たくなるとすぐに寒く感じられてしまいます。見た目を損なうような大きくて目立つヒーターは望ましくありません。部屋の雰囲気に...

パッケージング工程における熱は単なる熱ではない。 それは歩留まりを左右する制御レバーである。乾燥工程中のウェハー上のわずかな冷却点や、フォトレジストのソフトベーク時の一度の温度オーバーシュートがあれば、すぐに不良率予算を他者に譲ることになる。先端パッケージング—積層ダイ、微細ピッチRDL、薄膜封止...