省エネ型ウェーハヒーター

半導体製造工場における炭素排出量の削減：ウェーハを加熱するより効率的な方法 もし本当に半導体製造工場で炭素中性を実現したいのであれば、ウェーハの加熱や硬化のために無駄にエネルギーを消費することをやめなければなりません。 一般的な抵抗式ヒーターは、エネルギーを無駄に散逸させてしまいます。実際に必要な...