ファブ用赤外線加熱モジュール

ファブの現場では、フォトレジストのベーク処理は単なる快適さのためのものではありません。これは、絶対に見過ごしてはならない熱的制約条件です。ソフトベークやハードベーク時に0.5°Cでも温度が変動すると、重要な寸法管理が失われ、歩留まりも低下します。私たちは、このような熱的制約を厳守できるように、赤外...