なぜ金メッキされた反射器が重要なのか ウェーハの処理において、エネルギーを無駄にすることは、まるでお金を捨ててしまうようなものです。ほとんどの装置では、余分なエネルギーが機械のケース内に溜まってしまい、それは無駄遣いになります。そのため、私たちはIR電球に金メッキされた反射器を使用しています。そう...

無鉛での硬化処理を適切に行う方法（エネルギーの無駄遣いを避けるために） 半導体業界では、無鉛化や環境に優しいエネルギーの利用が積極的に推進されています。これは良い動きですが、硬化処理の仕方も変わってきます。そこで役立つのが赤外線です。化学溶剤や重金属触媒を使わないため、クリーンな処理が可能になりま...

ファブの現場では、フォトレジストを焼成する際にウェーハ全体で0.5℃もの温度差が生じると、線幅の制御がうまくいかず、結果として歩留まりが悪くなってしまいます。硬化ランプ内の反射板は、単なる部品ではありません。それは、工程を繰り返しても再現性のある熱分布を実現するための重要な要素です。 私たちは、ウ...