ロッカールームのヒーターが壊れないようにしましょう。 ロッカールームやその他の「湿気の多い場所」でヒーターの部品を交換する際は、単にワット数が合致するものを選ぶだけでは不十分です。IP65等級の製品を選ぶ必要があります。 その理由は、シール性能が重要だからです。IP65というのは、電気接点をほこり...

Lam Researchのヒーターに代わる、実際にコストを削減できる製品を見つけましょう。 正直に言って、半導体製造においては、どのウェーハも重要です。また、停止時間は一切許されない問題です。ですから、Lam Researchのヒーターを交換する際には、これまでと同じ高い性能が得られる一方で...

Role ファブフロアにおいて、RTPチャンバーは単なる加熱装置ではなく、プロセス計測機器である。ランプ出力が変動すると、ウェーハの温度均一性が乱れる。ソフトベークおよびハードベークの温度プロファイルが目標からずれ、重要寸法の管理が甘くなる。欠陥解析が始まる前に歩留まりが低下する。 重要なのは技術...