なぜ金メッキされた反射器が重要なのか
ウェーハの処理において、エネルギーを無駄にすることは、まるでお金を捨ててしまうようなものです。ほとんどの装置では、余分なエネルギーが機械のケース内に溜まってしまい、それは無駄遣いになります。そのため、私たちはIR電球に金メッキされた反射器を使用しています。そうすれば、熱が無駄に散逸することなく、シリコン表面に直接届けられます。
金の優れた特性
市場にはアルミニウム製の反射器も多数あります。それでも十分に機能しますが、赤外線エネルギーのかなりの部分を吸収してしまいます。一方、金は異なります。近赤外線光をはるかに効率的に反射します。 ウェーハに当たる光子が多くなると、より均一な温度分布が得られ、目標温度に到達するのもずっと早くなります。さらに、同じ仕事をするのに必要な電力も大幅に削減されます。つまり、より効率的なのです。
熱の対処法
高ワット数の電力を小さな電球に流すと、状況は非常に厳しくなります。迅速な硬化や加熱のためにはそのような高温が必要ですが、装置にとっては大きな負担となります。そのため、私たちは高純度の石英を使用して電球のケースを作っています。そうすれば、高温になっても電球が曲がったり壊れたりすることがありません。 しかし、注意点があります。電球を冷やし続ける必要があります。もし、電球の後部から熱を逃がすように設計されていなければ、問題が生じます。結果的に、コネクタが損傷したり、金メッキが剥がれ落ちたりする可能性があります。
電球の設置と維持管理
私たちが作ったこの電球は、簡単に既存の半導体アレイに取り付けられます。特別な手間もかかりません。また、反射器の形状を調整することで、ビームを絞り込み、ウェーハ上の「寒い部分」をなくしています。 ただし、注意が必要です。必ず清潔に保ってください。わずかなほこりや化学物質の残留でも、効率が低下します。適切な溶剤を使って拭き取り、一定の温度を維持しましょう。 もし、金メッキが剥がれたり色が変わったりしているようであれば、その時点で電球は交換が必要です。