壊れたランプが生産効率を低下させるのを防ごう ファブで働いたことがある人なら、この悪夢のような状況を知っているはずです。1つのランプが壊れると、単に稼働停止に直面するだけでなく、ウェーハ全体がクォーツの破片や金属酸化物で覆われてしまいます。本当にひどい状態です。修復するのに何日もかかり、莫大なコス...

ファブフロアでは、フォトレジストのベークプロファイルは「提案」ではなく「基準」です。ウェハ全体でわずか0.5℃のずれがCDを変動させ、ラインが停止し、原因を追いかける間にスケジューラが混乱します。当社のプロ用ファブ装置用スペアパーツは、熱制御をプロセスが必要とする位置に確実に固定するために設計され...