ウェーハ加熱時の安全距離

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法（ウェハーを加熱している間も） クラス100の環境で作業を行うときは、ほこりと戦っているようなものです。わずかなほこりの粒子があっただけで、作業したウェハー全体が台無しになってしまいます。 問題は、ウェハーを加熱するとき、危険なのは温度だけでは...