自動ウエハ乾燥ヒーター

ファブフロアで クリーンリンスを終えたばかりのウェハーには華麗さは不要で、求められるのは挙動の正確さである。水分残留、ムラのある加熱、微細な粒子は、クリティカルディメンションをずらし、フォトレジストの接着性を損ない、再作業へとつながる。自動ウェハードライヤーヒーターはこれらの変動要因を排除し、乾燥...