Mattson RTP灯更换

在生产车间，RTP腔体不仅仅是一个加热器——它是一个工艺仪器。当灯光输出漂移时，晶圆温度均匀性就会受到影响。软烘烤和硬烘烤曲线会偏离目标。关键尺寸控制会出现偏差。在缺陷评审开始之前，您的良率就已经下降了。 从技术上讲，重要的是可重复性。我们基于短波卤素光源和高透过率石英构建了这个兼容Mattson...