线性红外加热发射器

在芯片制造车间里，温度控制至关重要：哪怕温度出现一丝一毫的变化，都可能导致关键尺寸的控制失灵。因此，我们不需要过高的热量，而是需要能够保持稳定温度的加热装置，这样才能确保每一轮加工过程中的温度都在规定范围内。 从技术角度来说，什么是最重要的呢？ 我们使用线性红外加热器来提供短波红外辐射，从而将晶圆...