V výrobních prostorách stačí jediná voda po čištění k poškození čipu. Krok sušení po čištění není jen doba odpočinku – jedná se o klíčovou podmínku pro správný průběh procesu. Naše lampy na sušení čipů jsou navrženy tak, aby zajistily potřebnou teplotní kontrolu hned po mokrém čištění, právě tam, kde je to nejdůležitější.
Co je z technického hlediska důležité Nastavujeme profil sušení pomocí krátkovlnného a střednovlnného infračerveného záření v quartzových lampách. Cílem je rychlé, kontrolované zahřívání bez poškození fotorezistoru. Opakovatelnost teploty je ±0,1 °C na celém povrchu čipu, a rovnoměrnost teploty zůstává v úzkém rozmezí, takže kritické rozměry nezesilují. Systém funguje čistě – bez vzniku částic – a může být použit v prostorách s úrovni čistoty 1–100. Stabilita systému přetrvává více než 5 000 hodin s poklesem menším než 5 %, takže lze systém používat 24/7 bez jakýchkoliv problémů.
Proč se tento systém hodí do reálných výrobních prostorů Po čištění musí být čip bez jakékoli zbytkové vlhkosti a bez nové kontaminace připraven k dalším krokům výroby. Naše lampy rychle odstraní veškerou vlhkost, přičemž zachovají fotorezistor v neporušeném stavu pro následné kroky výroby. Díky tomu se zkracují doby cyklů, snižuje se spotřeba energie na jednu várku a snižuje se počet výměn lamp. Teplotní parametry zůstávají pod kontrolou, takže se rozšiřují možnosti procesu a snižují se vady spojené s sušením.
Zde jsou praktické detaily Tyto lampy vyžadují odpovídající montážní zařízení a čistou elektroenergii. Ujistěte se, že napětí a typ konektorů odpovídají vašemu zařízení. Je potřeba krátké období na nabraní teploty. Plánujte integraci lampy včas, aby byla správně umístěna vzhledem k dráze čipu. Během preventivní údržby udržujte okno lampy bez jakýchkoliv zbytků.