حفظ تمیزی اتاق کار در سطح کلاس ۱۰۰، در حین گرم کردن ویفرها
وقتی که در محیطی با سطح کلاس ۱۰۰ کار میکنید، در واقع در حال مبارزه با گرد و غبار هستید. حتی یک تکه کوچک از گرد و غبار میتواند کل محصولات شما را خراب کند.
نکته مهم این است که وقتی ویفرها را گرم میکنیم، خطر فقط مربوط به دما نیست؛ بلکه خود لامپ نیز خطرناک است. شیشههای معمولی در اثر گرما میتوانند درهم بشکنند یا گازهای سمی تولید کنند؛ این گازها میتوانند ناخالصیهایی را روی سطح ویفرها ایجاد کنند. به همین دلیل از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ چون هیچ جسم فلزی در آن وجود ندارد و خطری ایجاد نمیشود.
فاصله مناسب برای قرارگیری لامپ
نمیتوانید لامپ مادون قرمز را مستقیماً در کنار ویفر قرار دهید؛ چون این کار باعث ایجاد نقاط گرم در سطح ویفر میشود و منجر به تغییر شکل سیلیکون میگردد. اگر لامپ با ویفر در تماس باشد، کار شما خراب خواهد شد. پیدا کردن فاصله مناسب کار کمی دشوار است؛ اگر لامپ را نزدیکتر کنید، گرمای تولید شده بسیار زیاد خواهد بود، اما اگر آن را دورتر کنید، دمای سطح ویفر یکنواخت نخواهد بود. مراقب باشید که ولتاژ لامپ را بیش از حد افزایش ندهید؛ چون این کار باعث خراب شدن لامپ میشود.
چرا از کوارتز فروپاشیده استفاده میکنیم؟
ما هر چیزی را که میتواند در اثر گرما درهم بشکند، حذف کردهایم؛ چون هیچ لایه روکشی یا چسبی در کوارتز وجود ندارد. از کوارتز فروپاشیده استفاده میکنیم؛ چون میتواند تحت تأثیر گرما و سرما قرار بگیرد بدون اینکه درهم بشکند. همچنین از الکترودهای ویژهای استفاده میکنیم تا از خراب شدن لامپ جلوگیری شود.
مزایای استفاده از کوارتز
کوارتز آنقدر خالص است که تشعشعات مادون قرمز میتوانند از بین دیوارههای لامپ عبور کنند؛ بنابراین انرژی بیشتری به ویفر میرسد و لامپ نیز سردتر باقی میماند.
معایب استفاده از کوارتز
کوارتز خالص بسیار شکننده است؛ اگر لامپ در اثر لرزشها در تماس با سطح فلزی قرار بگیرد، سطح لامپ خراب خواهد شد. مطمئن شوید که قطعات متصل به لامپ به درستی تنظیم شدهاند؛ همچنین سیستم خنککننده نیز باید به اندازه کافی قوی باشد تا بتواند گرمای تولید شده توسط لامپ را کنترل کند.