깨끗한 환경을 유지하기 위한 노력: 클래스 100 청정실에서의 진짜 과제
클래스 100 청정실에서 작업한다면, 온도 조절이 사실은 비교적 쉬운 부분이라는 것을 알고 있을 것입니다. 진짜 문제는 바로 미세한 입자들입니다.
대부분의 일반적인 IR 램프들은 이러한 환경에서는 문제가 됩니다. 이 램프들은 가열될 때 가스를 방출하며, 실링 부분에서 작은 파편들이 떨어져 나옵니다. 반도체나 의료 기기 제조에 있어서는, 단 한 조각의 미세한 글루나 세라믹 조각만으로도 전체 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 이는 매우 실망스럽고 비용도 많이 드는 문제이며, 충분히 피할 수 있는 문제입니다.
왜 석영과 세라믹을 사용하는가?
금속성 오염물질이 공정에 유입되는 것을 막기 위해, 우리는 고순도의 합성 석영을 사용합니다. 하지만 진짜 비결은 바로 램프의 끝부분에 있습니다.
대부분의 램프들은 저렴한 수지나 접착제를 사용하는데, 이러한 재료들은 열이 가해지면 즉시 기화됩니다. 우리는 그렇게 하지 않습니다. 대신 고밀도의 기술용 세라믹을 사용합니다. 이 세라믹들은 극한의 온도에서도 안정적인 밀폐 상태를 유지합니다. 따라서 연기도, 파편도, 예상치 못한 문제도 발생하지 않습니다.
타협점들 (완벽한 것은 없다)
고순도 재료를 사용할 때는 하드웨어를 다루는 방식도 바꿔야 합니다. 합성 석영은 화학물질에 강하지만, 일반적인 붕규산 유리보다는 약간 더 부서지기 쉽습니다. 너무 세게 조이면 스트레스로 인해 균열이 생길 수 있으니, 적당한 틈을 남겨두는 것이 중요합니다.
또한, 유기질 코팅도 사용하지 않습니다. 금색이나 검은색 코팅은 흡수에 도움이 되지만, 시간이 지나면서 벗겨집니다. 진정한 청정실을 원한다면, 코팅이 없는 투명한 석영만이 최선의 선택입니다. 방향성 제어 능력이 조금 떨어질 수는 있지만, 미세한 입자가 없는 환경을 얻을 수 있습니다. 이는 언제나 기꺼이 감수할 만한 타협점입니다.
설치 시 주의사항
램프를 설치할 때는 전원 공급 장치에 주의해야 합니다. 전압의 급변은 세라믹 접합부에 과열을 유발하여 램프의 수명을 단축시킬 수 있습니다.
다행히도, 이러한 램프들은 그대로 교체할 수 있습니다. 램프의 크기가 세라믹 캡의 크기에 맞으면 됩니다. 단, 냉각 팬이 제대로 작동하여 세라믹 부분의 열을 제거하는지 확인해야 합니다.