用于晶圆的中波红外加热器

在制造车间里，烘干步骤直接决定了产品的热处理效果——要么达到预期标准，要么就失败。如果在进行烘干过程中出现颗粒物，那么整个批次的产品都废了。传统的加热方式无法满足先进制程对精确温度控制的严格要求，因为它们无法同时实现高速处理与精准控制。 真正重要的是什么？ 中波红外加热器能够将能量直接传递给晶圆，...