ウェーハレベルパッケージ用ヒーター

ライン上では、熱的ドリフトは警告灯として現れません。代わりに、寸法の変動やフォトレジストの厚みの減少、または多くのワークが廃棄され再加工されるといった形で現れます。ファンアウト型ウェーハレベルパッケージングでは、熱制御が非常に重要です。もしヒーターがウェーハ全体に均一な温度を保てない場合、切断作業...