金メッキを施したIRランプで安全を守る
半導体製造の現場で働いたことがある人なら、その厳しさはよくわかるでしょう。そこでは、反応性が高く、不安定な化学物質を扱わなければなりません。状況が悪化すると、爆発する可能性もあります。では、そんな環境に高温のIRランプを使ったらどうなるでしょうか？
普通の石英管では不十分です。だからこそ、金メッキを施したIRランプを使用するのです。これは、不安定な環境に適した構造です。
なぜ金なのか？
通常のIRランプは、熱をあちこちに放出する照明器具のようなものです。溶剤の蒸気が充満している部屋では、その熱が問題となります。もし、熱が不適切な角度でその蒸気に当たると、発火点に達してしまいます。これは良くありません。
この問題を解決するために、石英管の裏側に金メッキを施します。これにより、IRエネルギーがウェーハに直接当たるようになります。必要な場所に集中した熱が得られ、他の部分は冷却され続けます。
しかし、熱だけが問題ではありません。腐食性のあるガスも配線を侵食します。これを防ぐために、ランプの端を密閉しています。これにより、化学物質が電気接点に触れることがなく、腐食やショート回路が起きず、最も重要なのは、火災の原因となる火花が発生しないということです。
トレードオフ
ただし、これほど多くのエネルギーを送り出すと、石英管に負担がかかります。その結果、ガラス内に大きな温度差が生じます。もし冷却システムが十分でない場合、特にマウントブラケット付近では、石英管が変形したり、壊れてしまったりすることもあります。これはバランスを取る必要がある問題です。
設置方法
これらのランプは、簡単に交換できるように設計されています。現在使っている電源に接続すればすぐに使用できます。
ただし、一つアドバイスがあります。**必ずシール部を確認してください。**メンテナンスを行うたびに、そのシール部をチェックしてください。化学物質が存在する場所で微小な隙間があれば、大きな安全上のリスクとなります。私たちにとっては、シール部をしっかり保つことが、単に高出力を得ることよりも重要です。それが、プロセスを安定させ、建物内の人々を安全に保つ唯一の方法です。