クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために
もし、クラス100の環境で作業しているのであれば、エアフィルターだけでは不十分だということはご存知でしょう。実際の問題は、装置自体にあります。
半導体製造やスマートセンサーの梱包作業において、一般的な加熱ランプは大きな問題となります。これらのランプは劣化しやすく、ガスを放出することもあります。そうなると、わずかなゴミがウェーハ全体を台無しにしてしまいます。これは非常に厄介で、コストもかかり、避けられるものです。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用します。
秘密は石英にあります。
ほとんどの石英には微量の金属が含まれています。温度が上がると、その金属が製品に移動してしまいます。これは良くありません。私たちは不純物がほとんど含まれていない融解シリカを使用しているので、何も漏出することはありません。
さらに、この素材は耐温度性に優れています。急激に温度を変えても、チューブが変形したり割れたりすることはありません。形状を維持し続けます。
適切な設定を行う
私たちは短波赤外線を利用しています。目的は、センサーの内部に熱を効率的に伝えつつ、周囲の部品を損傷させないことです。重要なのは、単なる出力の大きさではなく、精度です。
ちょっとしたヒント：電源には注意してください。温度目標を早く達成するために、ランプに過剰な負荷をかけるのは避けてください。そうすると、フィラメントがすぐに壊れてしまいます。電力を少し控えめに設定すれば、ランプの寿命は数千時間延びます。
注意すべき点
ただし、高純度の石英はもろいのです。熱は好きですが、振動は嫌います。近くに重機がある場合、その振動によってガラスに微細な亀裂が生じる可能性があります。必ず固定ブラケットをしっかり固定してください。信じてください、この手間は必要です。
また、配線にも気を使ってください。高温に耐えられるケーブルを使用してください。普通の絶縁材を使うと、ランプからの熱でケーブルが溶けてしまいます。そうなると、再び汚染物質が入ってしまいます。